什么是智能型MOS氣體傳感器
發(fā)布時間：2022-05-07
作者：深國安電子
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什么是智能型MOS氣體傳感器呢?其原則上可直接稱為半導體氣體傳感器，不過注意，MOS氣體傳感器只是屬于半導體傳感器的一個分類，目前半導體氣體傳感器，按照半導體與氣體的相互作用是在其表面還是在其內(nèi)部，可分為表面控制型和體控制型兩種，其次還按照半導體變化的物理性質(zhì)，又可分為電阻型和非電阻型兩種。而MOS氣體傳感器是屬于非電阻型傳感器這類型的，它是利用mos二極管的電容，以及電壓特性的變化以及mos場效應(yīng)晶體管的閾值電壓變化等特性而制成的氣體傳感器。
MOS氣體傳感器具體工作原理：是根據(jù)對氣體的吸附和反應(yīng)，使半導體的某些特性發(fā)生變化對氣體進行直接或間接檢測。由于這類傳感器的制造工藝成熟，便于器件集成化，因而其性能穩(wěn)定價格便宜，但也存在一個弊端，就是使用壽命短。目前智能型MOS氣體傳感器多數(shù)的用途都是用于測可燃氣體，例如測甲烷、液化氣、氫氣、乙烯等氣體。
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