無(wú)色澄清的發(fā)煙液體。磋51574，熔點(diǎn)- 112℃，沸點(diǎn)76℃。溶于苯、乙醚、氯仿、四氯化碳。在潮濕空氣中能水解成亞磷酸和氯化氫，發(fā)生白煙。遇水和乙醇起分解反應(yīng)，與有機(jī)物接觸會(huì)著火，有腐蝕性。遇水猛烈分解，產(chǎn)生大量的熱和濃煙，甚至爆炸。用作半導(dǎo)體摻雜劑及高純磷的原料。在整個(gè)電路生產(chǎn)的工藝過程中，三氯化磷的質(zhì)量對(duì)控制沾污、提高集成電路成品率起著重要作用。有毒；有刺激性和腐蝕性。大鼠經(jīng)口LDso：550mg/kg；大鼠吸入LCsa：104×10-6 4h。對(duì)眼睛、呼吸道黏膜有強(qiáng)烈的刺激作用，能使結(jié)膜發(fā)炎，喉痛，對(duì)肺和黏膜都有刺激性，液體或較濃的氣體可引起皮膚灼傷，亦可造成嚴(yán)重眼損害，甚至失明。操作人員應(yīng)做好全防護(hù)。若不慎誤觸皮膚應(yīng)立即用大量溫水和肥皂洗滌干凈。不可與易燃物品、潮解性等物品共貯混運(yùn)。裝卸時(shí)要小心輕放，防止包裝瓶破裂。失火時(shí)，可用干沙土、干粉滅火器撲救，不可用水。遠(yuǎn)離火種、熱源。